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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】ICP 和RIE的区别～
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Vimon

铜虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by pptang at 2015-02-09 10:11:40
CCP 低气压，低高频功率，高低频功率，重polymer的气体...

版主能具体说说嘛？ICP中两个RF的功率应该怎么设定？

如果我理解的没错，上面的RF决定plasma的浓度和强度，下面的RF决定电场的偏压，即控制plasma轰击材料表面的强度。
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11楼2015-12-03 12:13:10
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