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Vimon

铜虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by pptang at 2015-02-09 10:11:40
CCP 低气压,低高频功率,高低频功率,重polymer的气体...

版主能具体说说嘛?ICP中两个RF的功率应该怎么设定?

如果我理解的没错,上面的RF决定plasma的浓度和强度,下面的RF决定电场的偏压,即控制plasma轰击材料表面的强度。
11楼2015-12-03 12:13:10
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