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铁虫 (正式写手)

[求助] 有关磁控溅射的问题

磁控溅射中制备Ti过渡层，是什么条件，需要通氮气吗？

1楼 2010-09-19 11:30:29

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荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

haifeng3877(金币+2, 博学EPI+1):谢谢，还有个问题 2010-09-19 15:22:34

一般要看你需要的过度层是什么了，通氮气是为了将里面没有抽完的氧给驱除出去，防止出现二氧化钛层的出现，但是如果你也需要这个的话有时候是不需要通的！

学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输

2楼2010-09-19 11:58:18

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