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haifeng3877

铁虫 (正式写手)

[求助] 有关磁控溅射的问题

磁控溅射中制备Ti过渡层,是什么条件,需要通氮气吗?

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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

【答案】应助回帖

haifeng3877(金币+2, 博学EPI+1):谢谢,还有个问题 2010-09-19 15:22:34
一般要看你需要的过度层是什么了,通氮气是为了将里面没有抽完的氧给驱除出去,防止出现二氧化钛层的出现,但是如果你也需要这个的话有时候是不需要通的!
学会选择,懂得放弃,有信心不一定会赢,没信心一定会输
2楼2010-09-19 11:58:18
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