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goalry

金虫 (正式写手)

[交流] POCl3 在太阳能电池扩散N结的原理??

请教一下,在太阳能电池片在生产过程中,使用POCl3扩散使原来只有P结的电池多晶硅片形成N结,在形成过程中要不断的通入N2气,在扩散反应过程中还要通入氧气,在此请教一下在通气过程中的扩散反应机理?

多谢!!
君子以自强不息,厚德载物
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xiaomichong

新虫 (小有名气)

goalry(金币+3, 博学EPI+1):谢谢支持! 2010-09-19 16:42:15
不懂也顶下
2楼2010-09-16 10:49:44
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

goalry(金币+10):谢谢!! 2010-09-19 16:42:33
POCl3 在太阳能电池扩散N结的原理见文献的2、3页:
https://wenku.baidu.com/view/8f3b1d6c1eb91a37f1115c7c.html
没有困难创造困难也要上网。
3楼2010-09-16 12:48:34
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

goalry(金币+5):谢谢!! 2010-09-19 16:42:45
N2是POCl3的载气,不参与反应;O2是为了促进PCl5的分解(POCl3热解得到PCl5)。
没有困难创造困难也要上网。
4楼2010-09-16 12:54:23
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huafei920

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2011-01-07 13:14:07
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