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goalry金虫 (正式写手)
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POCl3 在太阳能电池扩散N结的原理？？
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请教一下，在太阳能电池片在生产过程中，使用POCl3扩散使原来只有P结的电池多晶硅片形成N结，在形成过程中要不断的通入N2气，在扩散反应过程中还要通入氧气，在此请教一下在通气过程中的扩散反应机理？ 多谢！！ |
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xiaomichong
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goalry(金币+10):谢谢！！ 2010-09-19 16:42:33
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POCl3 在太阳能电池扩散N结的原理见文献的2、3页： https://wenku.baidu.com/view/8f3b1d6c1eb91a37f1115c7c.html |
3楼2010-09-16 12:48:34
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