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请教XPS和EDS都是能谱，除了分析手段不同，两者有什么区别，分别是表征什么的
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| 如题：请教XPS和EDS都是能谱，除了分析手段不同，两者有什么区别，分别是表征什么的 |
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qfw_68
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0) XPS的物理原理是光电效应；EDS的物理原理可称为电光效应，广义上说，二者是逆过 程！ 1）XPS的入射源是X射线，其对样品的破坏性较低;EDS的入射源是电子，对样品有一定的破 坏性。 2）XPS的出射束是电子，电子的平均自由成较短，仅仅几个纳米，是一种典型的表面分析手 段；EDS的出射束是特征X射线，X射线的平均自由程相对较长，可达上百纳米，因而可称之 为一种体分析手段。 3）XPS一般不能做微区成分分析，是几个毫米范围内的平均效应，但能提供元素化学态方面 的的信息；EDS可做微区成分分析，可以在XY平面内作二维的元素分布mapping,配合溅射等 手段，还可提供depth profile。 4) XPS可以分析除氢和氦以外的元素；因为受特征X射线探测器的影响，EDS仅可以探测Z大 于5的元素。 另外，对于类似的材料化学分析，单色性和分辨率都是仪器很重要的参数，严重依赖于仪器 本身。在作实验时，了解一点关于仪器的构造，原理和性能方面的知识，是很必要的。 http://blog.tianya.cn/blogger/po ... &PostID=3505646 |
2楼2010-09-10 16:57:44
3楼2010-09-10 19:28:09
dullrobber
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yuan1692(金币+2):3q 2010-12-22 16:20:30
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这两种都是比较经典的材料分析手段，看到BBs上一些不是特别清楚，试着写点，转贴此处，备份。 0) XPS的物理原理是光电效应；EDS的物理原理可称为电光效应，广义上说，二者是逆过 程！ 1）XPS的入射源是X射线，其对样品的破坏性较低;EDS的入射源是电子，对样品有一定的破 坏性。 2）XPS的出射束是电子，电子的平均自由成较短，仅仅几个纳米，是一种典型的表面分析手 段；EDS的出射束是特征X射线，X射线的平均自由程相对较长，可达上百纳米，因而可称之 为一种体分析手段。 3）XPS一般不能做微区成分分析，是几个毫米范围内的平均效应，但能提供元素化学态方面 的的信息；EDS可做微区成分分析，可以在XY平面内作二维的元素分布mapping,配合溅射等 手段，还可提供depth profile。 4) XPS可以分析除氢和氦以外的元素；因为受特征X射线探测器的影响，EDS仅可以探测Z大 于5的元素。 另外，对于类似的材料化学分析，单色性和分辨率都是仪器很重要的参数，严重依赖于仪器 本身。在作实验时，了解一点关于仪器的构造，原理和性能方面的知识，是很必要的。 来源：https://blog.tianya.cn/blogger/p ... &PostID=3505646 |
4楼2010-09-10 23:11:37
