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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】硅片最后精抛光后怎样检测
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niuyuren

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2010-09-10 16:34:03
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niuyuren

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
2楼2010-09-13 16:46:42
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hc1112223

禁言 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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3楼2010-09-14 10:59:18
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cyjpu

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
亚表层损伤可以用TEM或者XRD测
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4楼2010-09-20 13:18:20
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明光

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
用AFM或台阶仪都行，不过AFM最好
用TEM看损伤层不太容易，没有要制样；我觉得小角衍射XRD倒是很适合
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心平气和，谦虚谨慎，创新上进！
5楼2010-09-20 13:25:19
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song9807

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
楼主，我想买些硅片，不知你的从哪里买的，能告诉我下，谢谢。
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6楼2010-09-20 15:40:08
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sunm1980

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
楼主你好，硅片粗抛去除15~20um损伤层，经final polishing后去除约1um降低表面RMS，因此终抛也就是精抛只是降低RMS。
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生活内容
7楼2010-09-20 16:00:08
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niuyuren

禁虫 (初入文坛)
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8楼2010-10-25 17:28:58
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song9807

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by niuyuren at 2010-10-25 17:28:58:

我的硅片是我们实验室几年前就买了的，好像是从北京一个啥工厂买的，记不清了，不好意思哦

谢了，呵呵
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9楼2010-10-25 20:07:31
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qqqsone

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有表面粗糙度测试仪
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10楼2016-02-23 12:08:46
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