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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dgchan

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求单晶Si(100)的标准衍射图

在Si(100)面上镀膜,XRD显示12度、35度、70度左右各有一峰,其中70度的峰远高于前两个度数的峰,而且查阅文献,其标70度峰为Si(400)(他用的也是Si(100)镀的膜),请问为什么会这样标?而本人做的12度,35度峰,在其文献中并未出现,请问是否正常?~谢谢
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haosir88

木虫 (小有名气)

若X射线波长为1.15406nm时,Si晶格常数取0.5431nm(Smakula A, Kalnajs J. Precision Determination of Lattice Constants with a Geiger-Counter X-Ray Diffractometer. Physical Review ,1955, 99(6), 1737-1743.)时,粉晶XRD谱图在(100)(200,32.96满足4n+2)位置从理论上分析是会出现消光现象的。但用衍射仪测量Si基(100)薄膜时常观测到(200)衍射峰。在使用X射线衍射仪测量薄膜材料时,常采用衍射仪进行扫描,一般有两种工作方式,一种是X射线不动,样品旋转theta,探测器旋转2theta ,另一种是样品不动X射线与探测器分别以顺时针和逆时针旋转theta。由此可知,样品中只有与基片平行的晶面才能被衍射仪测量到,这样Si的其它衍射峰就看不到了,但为什么出现(200),我也不是很清楚,但应该是与Si基片为单晶片有关,测量时光线相干涉引起的。还有待高人帮助分析。
2楼2010-09-12 10:46:35
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