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【求助】求单晶Si(100)的标准衍射图
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| 在Si(100)面上镀膜，XRD显示12度、35度、70度左右各有一峰，其中70度的峰远高于前两个度数的峰，而且查阅文献，其标70度峰为Si(400)(他用的也是Si（100）镀的膜)，请问为什么会这样标?而本人做的12度，35度峰，在其文献中并未出现，请问是否正常？~谢谢 |
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haosir88
木虫 (小有名气)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
| 若X射线波长为1.15406nm时，Si晶格常数取0.5431nm（Smakula A, Kalnajs J. Precision Determination of Lattice Constants with a Geiger-Counter X-Ray Diffractometer. Physical Review ,1955, 99(6), 1737-1743.）时，粉晶XRD谱图在（100）（200，32.96满足4n+2)位置从理论上分析是会出现消光现象的。但用衍射仪测量Si基（100）薄膜时常观测到（200）衍射峰。在使用X射线衍射仪测量薄膜材料时，常采用衍射仪进行扫描，一般有两种工作方式，一种是X射线不动，样品旋转theta，探测器旋转2theta ，另一种是样品不动X射线与探测器分别以顺时针和逆时针旋转theta。由此可知，样品中只有与基片平行的晶面才能被衍射仪测量到，这样Si的其它衍射峰就看不到了，但为什么出现（200），我也不是很清楚，但应该是与Si基片为单晶片有关，测量时光线相干涉引起的。还有待高人帮助分析。 |
2楼2010-09-12 10:46:35