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kenshin520木虫 (著名写手)
拉风家族族长
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[交流]
【求助】大家谈谈电子级化学品 已有5人参与
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最近在做一个有关电子级化学品的调研工作（本人学分析），所以想请大家指点一二，想请教现在电子级化学品都有哪些？国际国内的发展现状等等？小某不才，想与交流一下 [ Last edited by kenshin520 on 2010-8-12 at 16:23 ] |
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kenshin520(金币+1):谢谢 2010-08-13 13:32:00
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3楼2010-08-13 13:09:01
domybest2010
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kenshin520(金币+3):谢谢，字体很难认啊 2010-08-13 13:31:48
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电子级化学品乃借助化学品固有的化學特性，主要為電子產品進行微 的化学特性，主要为电子产品进行微影、蝕刻與清洗等動作，應用的領域 影、蚀刻与清洗等动作，应用的领域以印刷電路板、半導體與液晶薄膜顯 以印刷电路板、半导体与液晶薄膜显示面板為大宗，其中尤以半導體與液 示面板为大宗，其中尤以半导体与液晶薄膜顯示面板對高純度的電子級化 晶薄膜显示面板对高纯度的电子级化學品要求最為嚴格，以避免其中的雜 学品要求最为严格，以避免其中的杂質干擾產品表現。 质干扰产品表现。 依工研院IEK資料， 依工研院IEK资料，2 0 0 4年我國電子級化學品產值達新台 2 0 0 4年我国电子级化学品产值达新台幣2 3 , 6 1 6百萬元，2 0 0 5年受到半導體 币2 3 , 6 1 6百万元，2 0 0 5年受到半导体LCD用化學品持續大幅成長之賜，產 与LCD用化学品持续大幅成长之赐，产值成長率達1 5 %，遠高於所有化學品2 % 值成长率达1 5 %，远高于所有化学品2 %的年平均成長率。 的年平均成长率。 电子级化学品主要扮演著微影、蝕刻與清洗三大功 主要扮演着微影、蚀刻与清洗三大功 能，以下分别叙述。 【微影】 乃藉由光阻劑對光產生的化學反 乃藉由光阻剂对光产生的化学反應，以便讓所需的影像留存在材料 应，以便让所需的影像留存在材料上。 上。 可分為正型與負型兩種。 可分为正型与负型两种。 光阻劑 光阻剂的主要成分為酚醛樹脂，依IEK資料， 的主要成分为酚醛树脂，依IEK资料，2 0 0 4年全球光阻劑市場產值為9 . 4億美 2 0 0 4年全球光阻剂市场产值为9 . 4亿美元，較2 0 0 3年成長了1 9 . 9 %，2 0 0 5年繼 元，较2 0 0 3年成长了1 9 . 9 %，2 0 0 5年继續成長了1 0 . 2 %，預估在2 0 0 3 - 2 0 0 9年 续成长了1 0 . 2 %，预估在2 0 0 3 - 2 0 0 9年之間，將維持8 . 2 %的複合成長率。 之间，将维持8 . 2 %的复合成长率。全球主要供應地為日本，主要?S商為東 球主要供应地为日本，主要厂商为东 京應化工業、JSR、住友化學等，目前 京应化工业、JSR、住友化学等，目前我國僅永光化學一家生產半導體與液 我国仅永光化学一家生产半导体与液晶薄膜顯示面板用的光阻劑，貢獻國 晶薄膜显示面板用的光阻剂，贡献国內2%需求，98%仰賴自國外進口。 内2%需求，98%仰赖自国外进口。經光照射之後，基材上照射區與 经光照射之后，基材上照射区与非照射區在屬於?婝|的顯影液中溶解 非照射区在属于强碱的显影液中溶解度會不同，故顯影液可將易溶的部份 度会不同，故显影液可将易溶的部份溶解，而達到顯影的目的。 溶解，而达到显影的目的。 當光阻劑 当光阻剂為正型，照射區會產生化學反應，主 为正型，照射区会产生化学反应，主鍵斷鍵?K發生極性變化，能溶解於顯 键断键并发生极性变化，能溶解于显影液中，而非照射區則不溶於顯影 影液中，而非照射区则不溶于显影液；當光阻劑為負型，照射區反而不 液；当光阻剂为负型，照射区反而不 易溶于显影液，与正型光阻剂正好相反，經顯影液作用之後，不被溶解留 反，经显影液作用之后，不被溶解留下的部份便是所需的影像。 下的部份便是所需的影像。 最通用的 最通用的顯影液是氫氧化四基銨溶液(TMAH)。 显影液是氢氧化四基铵溶液(TMAH)。當光阻劑在照射、顯影之後，必 当光阻剂在照射、显影之后，必須再以去光阻液予以清除，對TFT - LCD 须再以去光阻液予以清除，对TFT - LCD的製作而言，大型基板的邊緣更易堆 的制作而言，大型基板的边缘更易堆積、殘留多餘的光阻劑，故需要丙二 积、残留多余的光阻剂，故需要丙二醇甲醚乙酯(PGMEA )、氫氧化鉀等溶液 醇甲醚乙酯( PGMEA )、氢氧化钾等溶液負責在上述的程序之後，清除、剝離 负责在上述的程序之后，清除、剥离多餘的光阻劑。 多余的光阻剂。 |
2楼2010-08-13 13:00:19
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