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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？ 已有5人参与

我用TEOS做源，匀胶法在P型硅片上制作SiO2薄膜，没有烘之前膜还是均匀的，可是在80度夏烘了以后，膜出现卷膜现象，也就是部分薄膜与衬底分离了，怎么回事？怎么办?
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微信公众号：zajiadabing
1楼 2010-08-09 08:32:25
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by shengxue at 2010-08-09 15:58:58:
二氧化硅占总液体的质量比，呵呵
我做的膜膜厚只需纳米级的，你要多厚的膜可以适当提高浓度

我用的是文献的摩尔配比
TEOS：酒精：水：盐酸=1：4：2：0.005
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7楼2010-08-10 08:27:12
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shengxue

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-08-09 14:16:37
可能是你的teos涂膜液二氧化硅含量太高了，或者液体的粘度太高了，得到的膜太厚烧结后就会脱落的 要在一定的粘度范围内镀膜的
还有，你的涂膜液是酸性还是碱性的？碱性硅溶胶成膜差的
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2楼2010-08-09 13:11:48
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gamewang

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by shengxue at 2010-08-09 13:11:48:
可能是你的teos涂膜液二氧化硅含量太高了，或者液体的粘度太高了，得到的膜太厚烧结后就会脱落的 要在一定的粘度范围内镀膜的
还有，你的涂膜液是酸性还是碱性的？碱性硅溶胶成膜差的

首先谢谢您的回答，我的胶体是PH为3的，还有我加了乙二醇甲醚，没有什么影响吧？浓度多少为好？你用的配方是什么？方便透露一下吗？谢谢
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3楼2010-08-09 14:33:51
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shengxue

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-18 09:45:12
我也加乙二醇甲醚的，没有影响啊，我浓度一般在5%左右，但是我是用浸渍提拉镀膜的，你是怎么镀膜的？方法不一样也许需要的浓度也不一样，你配几个不同浓度的，做作看吧
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4楼2010-08-09 15:17:33
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