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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗? 已有5人参与

我用TEOS做源,匀胶法在P型硅片上制作SiO2薄膜,没有烘之前膜还是均匀的,可是在80度夏烘了以后,膜出现卷膜现象,也就是部分薄膜与衬底分离了,怎么回事?怎么办?
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shengxue

金虫 (小有名气)

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-18 09:45:12
我也加乙二醇甲醚的,没有影响啊,我浓度一般在5%左右,但是我是用浸渍提拉镀膜的,你是怎么镀膜的?方法不一样也许需要的浓度也不一样,你配几个不同浓度的,做作看吧
4楼2010-08-09 15:17:33
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shengxue

金虫 (小有名气)

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mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-08-09 14:16:37
可能是你的teos涂膜液二氧化硅含量太高了,或者液体的粘度太高了,得到的膜太厚烧结后就会脱落的 要在一定的粘度范围内镀膜的
还有,你的涂膜液是酸性还是碱性的?碱性硅溶胶成膜差的
2楼2010-08-09 13:11:48
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by shengxue at 2010-08-09 13:11:48:
可能是你的teos涂膜液二氧化硅含量太高了,或者液体的粘度太高了,得到的膜太厚烧结后就会脱落的 要在一定的粘度范围内镀膜的
还有,你的涂膜液是酸性还是碱性的?碱性硅溶胶成膜差的

首先谢谢您的回答,我的胶体是PH为3的,还有我加了乙二醇甲醚,没有什么影响吧?浓度多少为好?你用的配方是什么?方便透露一下吗?谢谢
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3楼2010-08-09 14:33:51
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shengxue

金虫 (小有名气)

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-18 09:45:20
二氧化硅占总液体的质量比,呵呵
我做的膜膜厚只需纳米级的,你要多厚的膜可以适当提高浓度
6楼2010-08-09 15:58:58
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