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gamewang木虫 (著名写手)
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【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？已有5人参与
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| 我用TEOS做源，匀胶法在P型硅片上制作SiO2薄膜，没有烘之前膜还是均匀的，可是在80度夏烘了以后，膜出现卷膜现象，也就是部分薄膜与衬底分离了，怎么回事？怎么办? |
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 SiO2 薄膜 纳米 工艺 |
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6楼2010-08-09 15:58:58
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gamewang
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