| 查看: 2258 | 回复: 12 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
gamewang木虫 (著名写手)
|
[交流]
【求助】有谁用TEOS匀胶做SiO2膜吗？已有5人参与
|
|
| 我用TEOS做源，匀胶法在P型硅片上制作SiO2薄膜，没有烘之前膜还是均匀的，可是在80度夏烘了以后，膜出现卷膜现象，也就是部分薄膜与衬底分离了，怎么回事？怎么办? |
回复此楼
songshaojie
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 111.3
- 帖子: 13
- 在线: 31.2小时
- 虫号: 2062722
- 注册: 2012-10-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
12楼2012-10-27 19:47:18
shengxue
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1397.2
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 213
- 在线: 24.5小时
- 虫号: 445527
- 注册: 2007-10-28
- 性别: MM
- 专业: 应用有机化学
2楼2010-08-09 13:11:48
gamewang
木虫 (著名写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 贵宾: 0.011
- 金币: 2876.1
- 散金: 87
- 红花: 6
- 帖子: 1378
- 在线: 103.6小时
- 虫号: 834459
- 注册: 2009-08-26
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2010-08-09 14:33:51
shengxue
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1397.2
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 213
- 在线: 24.5小时
- 虫号: 445527
- 注册: 2007-10-28
- 性别: MM
- 专业: 应用有机化学
4楼2010-08-09 15:17:33