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黑夜精灵

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专业: 半导体材料

[交流] 【求助】石英表面被硅污染了怎么清洗已有1人参与

有一个高温炉的石英内胆,由于硅片和铝一起加热,在高温情况下发生了爆炸,导致石英表面被污染,已经变成黑色,请问有什么办法可以洗掉表面的硅,而不损坏石英呢?

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不断前行

1楼 2010-07-24 00:48:52

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

黑夜精灵

至尊木虫 (著名写手)

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专业: 半导体材料

引用回帖:

Originally posted by 黑夜精灵 at 2010-07-24 00:48:52:
有一个高温炉的石英内胆,由于硅片和铝一起加热,在高温情况下发生了爆炸,导致石英表面被污染,已经变成黑色,请问有什么办法可以洗掉表面的硅,而不损坏石英呢?

问题已解决了.

不断前行

2楼2010-07-24 23:41:01

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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