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【求助】石英表面被硅污染了怎么清洗
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【求助】石英表面被硅污染了怎么清洗
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有一个高温炉的石英内胆,由于硅片和铝一起加热,在高温情况下发生了爆炸,导致石英表面被污染,已经变成黑色,请问有什么办法可以洗掉表面的硅,而不损坏石英呢?
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专业: 半导体材料
引用回帖:
Originally posted by
黑夜精灵
at 2010-07-24 00:48:52:
有一个高温炉的石英内胆,由于硅片和铝一起加热,在高温情况下发生了爆炸,导致石英表面被污染,已经变成黑色,请问有什么办法可以洗掉表面的硅,而不损坏石英呢?
问题已解决了.
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不断前行
2楼
2010-07-24 23:41:01
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