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【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄?
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gamewang
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【求助】用P2O5进行掺杂怎么弄?
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我想用五氧化二磷对硅片掺杂,不用溅射(对腔体有污染),用化学的方法如何做?工艺是什么?希望赐教~~
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1楼
2010-07-21 09:11:19
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lich0819
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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11楼
2014-04-08 15:35:39
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