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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 催化 » 表征 » 【求助】表征薄膜成分及其含量的方法
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】表征薄膜成分及其含量的方法 已有6人参与

请教各位大侠：表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊？各种方法的优缺点都是什么呢？谢谢了！我的膜是氧化物薄膜。
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1楼 2010-07-15 10:26:38
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水金山

银虫 (小有名气)
anyupenglilin(金币+3):这么说来最好还是用EDS来确定元素的种类和含量了？ 2010-07-16 10:06:47
xps对于含量较低的元素定量检测的话误差较大，另外在结合Ar离子枪做元素深度分布时，不同原子半径的元素溅射产率不同，故对于重元素的深度分布不准确。
另外，对于分峰后确定的不同价态的相对含量的定量分析也不够准确
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7楼2010-07-15 16:09:23
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hyy2007

木虫 (正式写手)

Dr.
★
anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
能谱可以一定程度上定量分析，虽然不是很准；
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好好学习，天天向上
2楼2010-07-15 10:48:22
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stevenyin

木虫 (正式写手)
★
anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
XPS 可定性及定量
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3楼2010-07-15 12:28:28
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shenyang_c

金虫 (小有名气)
★
anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
红外、EDS都可以作为参考，当然XPS是很准确的啦。
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4楼2010-07-15 15:10:59
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