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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】表征薄膜成分及其含量的方法 已有6人参与

请教各位大侠:表征薄膜成分及其含量的有多少种方法啊?各种方法的优缺点都是什么呢?谢谢了!我的膜是氧化物薄膜。
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shenyang_c

金虫 (小有名气)


anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
红外、EDS都可以作为参考,当然XPS是很准确的啦。
4楼2010-07-15 15:10:59
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hyy2007

木虫 (正式写手)

Dr.


anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
能谱可以一定程度上定量分析,虽然不是很准;
好好学习,天天向上
2楼2010-07-15 10:48:22
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stevenyin

木虫 (正式写手)


anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
XPS 可定性及定量
3楼2010-07-15 12:28:28
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迷路的孩子

新虫 (正式写手)


anyupenglilin(金币+1):谢谢参与
XPS就是测试费贵了点儿
一直在思考人性这个东西。至今未得其解
5楼2010-07-15 15:35:29
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