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【请教】在硅片上制作微纳米结构的方法？
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大家好！ 我是微纳米制作技术的初学者，熟悉的技术是在光刻胶上制作微纳米结构，最近看了些关于纳米压印方面的文献，都是在硅片上制作微纳米结构，再将上面的结构通过各种各样的纳米压印技术转移，我想知道如如何在硅片上制作微纳米结构，但是文章中都不涉及此技术。大家有没有了解过相关知识，如果知道的话指点指点，谢谢哦。 |
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