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风中步银虫 (小有名气)
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【求助】离子注入剂量的计算
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| 离子注入一般有注入电压、脉冲宽度、脉冲频率和注入时间等工艺参数,很多文献上说注入剂量为10的17次方/每平方厘米,请问到底是怎么计算的?有什么公式么? |
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