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风中步

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】离子注入剂量的计算

离子注入一般有注入电压、脉冲宽度、脉冲频率和注入时间等工艺参数,很多文献上说注入剂量为10的17次方/每平方厘米,请问到底是怎么计算的?有什么公式么?
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qjh445

新虫 (初入文坛)

~

累计貌似
2楼2011-03-21 13:55:55
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idiot891

金虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
1mc=6.25×10的15次方个电荷
用积分仪测量注入到样品上的电荷量
二者相乘再除以离子所带电荷个数就是剂量
3楼2011-05-04 09:08:56
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