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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】离子注入与电子辐射的区别
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wangkaiyue

金虫 (著名写手)

[交流] 【求助】离子注入与电子辐射的区别 已有5人参与

离子注入ion implant是将高能量的离子打入固体表面或内部，从而形成半导体材料，而电子辐射electron irradition是利用高能或低能电子使材料产生活性空位，那使用的电子去哪了？？反射了还是留在基体内？？请问各位大虾，两者的区别，本人是菜鸟。
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流星
1楼 2010-07-03 11:55:20
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dawnlight

荣誉版主 (职业作家)

小木虫小小版主
★ ★ ★ ★ ★
小木虫:)(金币+5):3q 2010-07-04 22:03:07
wangkaiyue(金币+1): 2010-07-05 11:17:39
wangkaiyue(金币+1): 2010-07-05 11:18:36
离子注入和电子辐照都是辐照方式，当然绝大部分都是留在材料内部，这毫无疑问。
不同之处在与于一个核能损为主，一个点电子能损为主。
至于后续造成的导电性能的影响，你似乎还没有彻底理解这个问题，电子导电还是空穴导电是宏观行为，得和材料的整体性能放在一起考虑，不能说电子辐照了就成了N型了，殊不知他内部造成的大量缺陷以及自由载流子与辐照能量和剂量密切相关。
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姿曰:年轻会结束，在结束以前，把想做的事做完吧!
5楼2010-07-04 21:10:50
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hadone

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫:)(金币+2):3q 2010-07-04 22:02:51
wangkaiyue(金币+1): 2010-07-05 11:17:30
wangkaiyue(金币+1): 2010-07-05 11:17:52
我个人觉得最终的半导体材料会达到中性状态。是由于材料和外界的相互作用得到或失去电子来完成的。
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3楼2010-07-04 01:07:42
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夕阳西下

金虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫:)(金币+3): 2010-07-04 22:03:01
wangkaiyue(金币+1): 2010-07-05 11:17:34
半导体材料分为N型和P型，这种分类方法是依据两者的载流子浓度不一样来划分的。所以不管是离子注入也好，电子辐射也好最后电子都存在与材料之中。电子辐射会导致电子浓度的增加变成N型半导体。
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4楼2010-07-04 09:15:31
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dawnlight

荣誉版主 (职业作家)

小木虫小小版主
wangkaiyue(金币+1): 2010-07-05 11:17:42
引用回帖:
Originally posted by 夕阳西下 at 2010-07-04 09:15:31:
半导体材料分为N型和P型，这种分类方法是依据两者的载流子浓度不一样来划分的。所以不管是离子注入也好，电子辐射也好最后电子都存在与材料之中。电子辐射会导致电子浓度的增加变成N型半导体。

电子辐照未必会导致半导体变成N型的，这得看辐照剂量和能量，以及材料的性质等等。如果真的电子辐照能这么容易诱导N型半导体的话，那半导体的很多问题都不是问题了，呵呵。
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姿曰:年轻会结束，在结束以前，把想做的事做完吧!
6楼2010-07-04 21:15:17
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