| 查看: 994 | 回复: 2 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
tickychao206银虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】AlN薄膜XRD测试结果分析求助 已有2人参与
|
||
|
最近使用磁控溅射法制备了氮化铝薄膜可是XRD的结果却很奇怪，希望大家指点一二: 1,我试验的条件如下：选取的硅基片（100），在氢氟酸中除氧化物，然后在酒精和丙酮中超声清洗。抽真空到10-4Pa以下，开始溅射。 2.我的实验结果却让人很吃惊，在三台设备上做出来的xrd结果惊人的相似，描述如下：分别在33°，46°，54.6°，56.4°，61.8°有峰值，其中33°的峰值也不能叫峰值，就是一个跨度很大的弓形，最强峰在61.8°，这里面所有的峰值只有33°有对应AlN的峰值，其他的都对应不上，不知道什么原因，还有一个很奇怪的现象就是对Si的背面（没有做膜的一面）做了XRD发现也出现了以上的情况，可是峰值很弱几乎和背地差不多，只有61.8°较强，请高人指点。 |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿郑州大学，080500学硕，总分317分求调剂
已经有10人回复
-
311求调剂
已经有7人回复
-
0703化学321分求调剂
已经有11人回复
-
085600材料与化工调剂
已经有7人回复
-
085601材料工程找调剂
已经有18人回复
-
材料工程专硕求调剂
已经有7人回复
-
349求调剂
已经有3人回复
-
309求调剂
已经有14人回复
-
材料科学与工程 317求调剂
已经有6人回复
-
材料调剂
已经有12人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助！XRD分析问题
已经有3人回复
- 求助XRD测试薄膜残余应力问题
已经有4人回复
- XRD测试结果中,是不是每一条峰都得和PDF对应???
已经有9人回复
- 使用SHELX软件可以解析粉晶的XRD测试结果吗
已经有7人回复
- 【求助】XRD测试分析，求高手指点
已经有10人回复
- 【求助】制备的CIGS薄膜的XRD图谱只有一个强度为9000多的（112）取向峰，请问什么原因
已经有9人回复
- 【求助】进行XRD测试，需如何处理？？？ 样品是纳米粒子的胶体溶液
已经有16人回复
- 【求助】HAP的XRD分析，求助大侠
已经有8人回复
- 【求助】XRD制样与测试
已经有12人回复
- 【求助】XRD分析
已经有11人回复
tickychao206
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 470.9
- 帖子: 127
- 在线: 43.3小时
- 虫号: 1005373
- 注册: 2010-04-25
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2010-06-30 06:24:09
diamondfire
木虫 (正式写手)
- 应助: 12 (小学生)
- 贵宾: 0.005
- 金币: 2332.3
- 散金: 1502
- 红花: 6
- 帖子: 709
- 在线: 216.1小时
- 虫号: 335809
- 注册: 2007-03-31
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
2楼2010-06-29 19:47:20
