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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】制备合金靶材
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trista104

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】制备合金靶材 已有4人参与

本人是用PLD做薄膜的，想请问有做过合金靶材的同学求教一下，什么方法可以得到致密的靶材呢？



[ Last edited by imrsfb on 2011-4-30 at 20:35 ]
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每天精神饱满去生活！~~
1楼 2010-06-26 23:01:37
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hyh_bme

铁虫 (初入文坛)
做合金靶材是熔炼有点在锻压，陶瓷靶材是等静压与烧结，管靶材是原材料经过加热后在磨具里挤压、。最后在用机械加工。加工靶材原理简单
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4楼2010-07-12 18:34:30
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hyh_bme

铁虫 (初入文坛)
trista104(金币+3):谢谢回复 2010-07-04 15:25:12
陶瓷靶材是烧结而成，经过热压过的溅射金属靶材密度好些。现在要想得到致密的金属靶材大部分都是经过热压，我是做靶材的，知道一些大概。但国内的靶材质量不如 国外。
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2楼2010-06-29 19:09:27
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trista104

银虫 (小有名气)
哦，你是哪个单位的呢？
引用回帖:
Originally posted by hyh_bme at 2010-06-29 19:09:27:
陶瓷靶材是烧结而成，经过热压过的溅射金属靶材密度好些。现在要想得到致密的金属靶材大部分都是经过热压，我是做靶材的，知道一些大概。但国内的靶材质量不如 国外。

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每天精神饱满去生活！~~
3楼2010-07-02 16:39:37
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guoxuegang

木虫 (著名写手)
运用挤压技术制作靶材。长见识。
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(ˇˍˇ）想～小木虫一样，把金属的使用随心所欲
6楼2010-07-29 17:46:57
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