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trista104

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】制备合金靶材 已有4人参与

本人是用PLD做薄膜的,想请问有做过合金靶材的同学求教一下,什么方法可以得到致密的靶材呢?



[ Last edited by imrsfb on 2011-4-30 at 20:35 ]
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每天精神饱满去生活!~~
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hyh_bme

铁虫 (初入文坛)

trista104(金币+3):谢谢回复 2010-07-04 15:25:12
陶瓷靶材是烧结而成,经过热压过的溅射金属靶材密度好些。现在要想得到致密的金属靶材大部分都是经过热压,我是做靶材的,知道一些大概。但国内的靶材质量不如 国外。
2楼2010-06-29 19:09:27
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trista104

银虫 (小有名气)

哦,你是哪个单位的呢?
引用回帖:
Originally posted by hyh_bme at 2010-06-29 19:09:27:
陶瓷靶材是烧结而成,经过热压过的溅射金属靶材密度好些。现在要想得到致密的金属靶材大部分都是经过热压,我是做靶材的,知道一些大概。但国内的靶材质量不如 国外。

每天精神饱满去生活!~~
3楼2010-07-02 16:39:37
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hyh_bme

铁虫 (初入文坛)

做合金靶材是熔炼有点在锻压,陶瓷靶材是等静压与烧结,管靶材是原材料经过加热后在磨具里挤压、。最后在用机械加工。加工靶材原理简单
4楼2010-07-12 18:34:30
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5楼2010-07-29 17:19:07
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guoxuegang

木虫 (著名写手)

运用挤压技术制作靶材。长见识。
(ˇˍˇ)想~小木虫一样,把金属的使用随心所欲
6楼2010-07-29 17:46:57
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