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【求助】有关衬底转速和均匀性的问题 已有2人参与
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| 在模拟生长时，衬底转动可以反应物提高均匀性，使生长的薄膜更均匀，为什么我加上转速后均匀性变差了，中间的沉积率更大边缘的更小？ |
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2楼2010-07-01 15:39:41