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【求助】有关衬底转速和均匀性的问题 已有2人参与
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| 在模拟生长时,衬底转动可以反应物提高均匀性,使生长的薄膜更均匀,为什么我加上转速后均匀性变差了,中间的沉积率更大边缘的更小? |
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千古龙飞地
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