24小时热门版块排行榜    

查看: 472  |  回复: 4
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

fromheaven

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PZT是否对半导体工艺线有污染? 已有4人参与

紧急求助:有哪位前辈知道PZT是否对半导体工艺线有污染?另外,PZT的扩散系数是多少?谢谢!

[ Last edited by fromheaven on 2010-6-24 at 15:54 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhenghuiling

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-07-04 18:53:20
底电极的话一般使用Pt做,也有用LNO做底电极的,上电极的话用Pt或者Au都行,面积的话一般都是一毫米左右吧
5楼2010-07-04 14:48:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

icwafer

金虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-06-24 17:06:01
一般来说,重金属有污染。但是看不同的工厂。比如说我见过做巨磁阻器件的,一般工厂不敢接。单也有工厂可以做。
为人民币服务!
2楼2010-06-24 16:57:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiawangpan

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-06-24 23:04:25
这个得看半导体工艺的温度,Pb在800度以上挥发比较大。一般半导体工艺温度低于这个温度,是可以忽略的
3楼2010-06-24 18:44:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fromheaven

金虫 (小有名气)

谢谢大家的关注,我们只需要光刻,刻蚀我们自己做,期间没有高温过程的
4楼2010-06-24 20:56:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见