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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【求助】PZT是否对半导体工艺线有污染？
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fromheaven

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PZT是否对半导体工艺线有污染？ 已有4人参与

紧急求助：有哪位前辈知道PZT是否对半导体工艺线有污染？另外，PZT的扩散系数是多少？谢谢！

[ Last edited by fromheaven on 2010-6-24 at 15:54 ]
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1楼 2010-06-24 15:53:45
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icwafer

金虫 (正式写手)
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csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-06-24 17:06:01
一般来说，重金属有污染。但是看不同的工厂。比如说我见过做巨磁阻器件的，一般工厂不敢接。单也有工厂可以做。
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为人民币服务！
2楼2010-06-24 16:57:15
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xiawangpan

金虫 (小有名气)
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guxue(金币+1):鼓励交流 2010-06-24 23:04:25
这个得看半导体工艺的温度，Pb在800度以上挥发比较大。一般半导体工艺温度低于这个温度，是可以忽略的
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3楼2010-06-24 18:44:06
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fromheaven

金虫 (小有名气)
谢谢大家的关注，我们只需要光刻，刻蚀我们自己做，期间没有高温过程的
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4楼2010-06-24 20:56:16
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zhenghuiling

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guxue(金币+1):鼓励交流 2010-07-04 18:53:20
底电极的话一般使用Pt做，也有用LNO做底电极的，上电极的话用Pt或者Au都行，面积的话一般都是一毫米左右吧
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5楼2010-07-04 14:48:06
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