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xfx_0524

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】xps表征问题 已有5人参与

同一块固体基地表面做了两种不同的东西,能不能用xps分别检测不同的位置?第一次做xps,不是很清楚样品的要求。
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自知之明者,谓之贤也。
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syfsufsuf

金虫 (小有名气)

xfx_0524(金币+1): 2010-06-20 16:23:02
检测肯定是可以检测,只是结果你要自己分析
2楼2010-06-19 15:03:02
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3楼2010-06-19 15:20:48
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

xfx_0524(金币+1): 2010-06-20 16:23:13
XPS只是表面分析,内部的成分测不出来。
麦麦爸爸爱小牛
4楼2010-06-19 23:29:13
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tof-sims

银虫 (小有名气)

xfx_0524(金币+2): 2010-06-20 16:23:18
首先,xps是表面分析测试的手段,只能表征表面成分及化学状态,如果是要检测表面上的不同位置的,最好采用扫描式的小面积X-ray得xps,这样就可以测试不同位置的成分了。
其次,如果你的不同位置是指深度方向,xps也是可以测量的,就采用深度分析的方法,采用Ar离子溅射。
5楼2010-06-20 07:54:14
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jacky.linn

铁杆木虫 (职业作家)

迷途书童

xfx_0524(金币+2): 2010-06-20 16:23:28
xps一般只能测表面5nm左右的化学成分,而且还受表面污染的影响,所以测试前尽量使样品干净
而后要做离子减薄,进行深度剖析
如果要测体相的话,那要减很长时间了,比较烧钱~
一般测薄膜样品就减3-4分钟
6楼2010-06-20 08:35:11
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