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hegelle

银虫 (初入文坛)

[交流] 【讨论】金属辅助刻蚀Si nanowire 已有2人参与

采用HF+H2O2+H2O 溶液金属辅助刻蚀Si nanowire 时, 为什么金颗粒没有银颗粒好? 大家有见过用金辅助刻蚀的没有?
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士不可不弘毅,任重道远!
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sagaman

木虫 (著名写手)

Motility of Metal Nanoparticles in Silicon and Induced Anisotropic Silicon Etching  
Peng KQ, Lu AJ, Zhang RQ, Lee ST.
ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS  Volume: 18   Issue: 19 Pages: 3026-3035 Published: SEP 22 2008

Fabrication of single-crystalline silicon nanowires by scratching a silicon surface with catalytic metal particles
Peng KQ, Hu JJ, Yan YJ, et al.
ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS   Volume: 16   Issue: 3   Pages: 387-394   Published: FEB 3 2006


关于金刻蚀,你可以参看这两篇文章的supporting文件,里面好像有

[ Last edited by sagaman on 2011-3-11 at 21:58 ]
7楼2011-03-11 21:47:38
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查看全部 7 个回答

vvxd

铜虫 (正式写手)

hegelle(金币+1): 2010-06-08 02:48:27
我做过,不过现在不方便讲~~等我发完文章再说吧
你在哪个课题组做呀~~
dsd
2楼2010-06-07 01:11:36
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

hegelle(金币+3): 2010-06-08 02:48:35
你说的是第二种版本了,第一种是HF+AgNO3 或者HF+HAuCl4,都可以做出比较好的归纳米线阵列的,不过用分子印刷+蒸发的方法可以控制纳米线直径,金和银的区别应该不是很大,是电极电位的差别,具体参见清华毕业的彭奎庆老师(现在在北京师范大学核科学与技术学院)的一系列文章,从制备机理到结构应用都有,文章档次基本都是AM,NL,angwandate这些牛杂志。可以看他课题组网址http://lenp.bnu.edu.cn/hkxyweb/pkqweb/chprof.peng.htm
另外,东南的邱腾(不知道字写错没有),也做了些这方面的工作,主要是贵金属/硅基纳米结构的光致发光研究。
其实你查到一篇参考文献,顺藤摸瓜,全部都出来了,或者查篇综述就都有了,这样对整个课题会有一个比较全面的把握,不然做了半天,发现别人都做过了,那就悲剧了。
是金子总会发光!!!
3楼2010-06-07 10:37:52
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hegelle

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by hegelle at 2010-06-06 10:31:42:
采用HF+H2O2+H2O 溶液金属辅助刻蚀Si nanowire 时, 为什么金颗粒没有银颗粒好? 大家有见过用金辅助刻蚀的没有?

现在可以讲了么?
士不可不弘毅,任重道远!
4楼2011-03-10 13:21:27
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