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boyshen

至尊木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】请教关于薄膜晶体长大的问题 已有2人参与

我是做功能半导体薄膜方向的,现在希望提高薄膜的晶粒大小,一般情况下,提高热处理温度和延长热处理时间有助于薄膜晶体的长大。但是请问,我该如何确定热处理温度,或者请问各位还有没有别的方法可以使薄膜的晶粒长大?
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yznian

至尊木虫 (著名写手)

boyshen(金币+5): 2010-06-04 10:31:47
根据该晶体的吉布斯函数算热处理温度 至于别的长大方法 我觉得应该从你薄膜的制备工艺上调整 等制好之后 似乎只有热处理的法子了
2楼2010-06-03 01:44:04
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by yznian at 2010-06-03 01:44:04:
根据该晶体的吉布斯函数算热处理温度 至于别的长大方法 我觉得应该从你薄膜的制备工艺上调整 等制好之后 似乎只有热处理的法子了

能详细的告诉下怎么根据吉布斯函数算么?或者把相关书的章节告诉下我 谢谢了
3楼2010-06-04 10:32:24
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yznian

至尊木虫 (著名写手)

一般的晶体热力学 或者材料科学基础中的晶体生长部分 都有论及
引用回帖:
Originally posted by boyshen at 2010-06-04 10:32:24:

能详细的告诉下怎么根据吉布斯函数算么?或者把相关书的章节告诉下我 谢谢了

4楼2010-06-05 00:16:20
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