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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】最近Cu靶经常中毒，如何解决，谢谢
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hzcc

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】最近Cu靶经常中毒，如何解决，谢谢 已有3人参与

Cu靶经常中毒，表面会出现黑色，电压很不稳定。
请问是什么原因导致的，怎么解决，黑色物质会是氮化铜吗？谢谢
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1楼 2010-05-31 11:09:37
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
以前不中毒？是不是漏气或者气体不纯啊。如果以前也中毒的话，肯定是参数设计或者设备本身的问题了。
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3楼2010-05-31 18:36:32
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yznian

至尊木虫 (著名写手)
hzcc(金币+1): 2010-05-31 16:43:08
嗯 氮气的通气孔要离靶远点好
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2楼2010-05-31 16:33:40
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hzcc

木虫 (正式写手)
以前没有出现过中毒现象，我们的真空度一直都还挺稳定的
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4楼2010-05-31 20:37:31
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