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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 【求助】关于测试薄膜不同深度的成分
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tianll06

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于测试薄膜不同深度的成分 已有1人参与

我想测试薄膜不同深度的成分，请问要用什么仪器测试，因为我的是多层膜，所以不同深度的成分不同，但是不知道怎么测试，麻烦知道的大侠帮忙，谢谢了，
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1楼 2010-05-22 11:54:38
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bluern

木虫 (著名写手)
tianll06(金币+2): 2010-05-22 19:10:16
好像可以用X光电子能谱+氩蚀
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2楼2010-05-22 15:35:49
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