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铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于测试薄膜不同深度的成分已有1人参与

我想测试薄膜不同深度的成分，请问要用什么仪器测试，因为我的是多层膜，所以不同深度的成分不同，但是不知道怎么测试，麻烦知道的大侠帮忙，谢谢了，

1楼 2010-05-22 11:54:38

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木虫 (著名写手)

tianll06(金币+2): 2010-05-22 19:10:16

好像可以用X光电子能谱+氩蚀

2楼2010-05-22 15:35:49

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