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【求助】求助关于XPS单质硅的峰偏移问题 已有6人参与
咨询一困惑很久的问题,求牛人解答!
先上图

如图所示,绿色的的线是单晶硅硅表面Si2p的XPS图,高的峰是单质硅,特征峰在99.0ev,低的峰为硅表面的一层SiO2氧化层,特征峰在103.3ev.
蓝色的线为通过二氧化硅球和单晶硅摩擦磨损后的磨屑XPS图,这时在98ev处出现一个很小的峰,按道理说这里应该也是出现单质硅的特征峰,但是这个峰明显偏小了,只有98ev。我查了XPS的数据库,在98ev附近都没有Si2p图谱中所对应的物质。
因此我想问一下,引起这个峰偏移的原因是什么?什么因素可能导致单质峰的偏移?谢谢牛人解答~~~~ |
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