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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 【求助】EBSD分辨率
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youthmany

铜虫 (正式写手)

[交流] 【求助】EBSD分辨率 已有4人参与

普通场发射EBSD分辨率多高？能测晶粒为200nm的超细晶材料吗？

检测表征

[ Last edited by ding2008212 on 2011-3-24 at 12:44 ]
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1楼 2010-05-10 15:35:54
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
jic8417(金币+1):谢谢回帖交流。 2010-05-11 06:20:41
200nm有点困难吧，但是你的样品状态好，也不是不能做出来。
EBSD有两个分辨率，
（1）空间分辨率是与SEM相关的，场发射EBSD一般能达到5nm，本来场发射的分辨率最大可达1.0nm，但是EBSD需要大光阑，分辨率下降；
（2）角分辨率，与花谱标定相关的分辨率，这个分辨率目前可达到0.5°。
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每天一小步也有新高度
2楼2010-05-10 17:49:20
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youthmany

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by comma at 2010-05-10 17:49:20:
200nm有点困难吧，但是你的样品状态好，也不是不能做出来。
EBSD有两个分辨率，
（1）空间分辨率是与SEM相关的，场发射EBSD一般能达到5nm，本来场发射的分辨率最大可达1.0nm，但是EBSD需要大光阑，分辨率下降； ...

谢谢！请问您说的样品状态好是指什么？
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3楼2010-05-10 18:01:59
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tonefly

金虫 (正式写手)
★ ★
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jic8417(金币+1):谢谢回帖交流。 2010-05-11 06:20:49
你的样品如果是再结晶态的，那么现在的场发射扫描电镜配备的EBSD完全可以达到200nm的分辨率。如果是形变态的，取决于样品本身，以及对样品表面的处理程度，达到200nm可以比较轻松的。
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4楼2010-05-10 22:19:36
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yztian

铁杆木虫 (著名写手)
★
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看你们的EBSD 的分辨率有多少了？
楼上说的很好。
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5楼2010-05-11 08:15:49
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