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youthmany

铜虫 (正式写手)

[交流] 【求助】EBSD分辨率 已有4人参与

普通场发射EBSD分辨率多高?能测晶粒为200nm的超细晶材料吗?

检测表征

[ Last edited by ding2008212 on 2011-3-24 at 12:44 ]
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
jic8417(金币+1):谢谢回帖交流。 2010-05-11 06:20:41
200nm有点困难吧,但是你的样品状态好,也不是不能做出来。
EBSD有两个分辨率,
(1)空间分辨率是与SEM相关的,场发射EBSD一般能达到5nm,本来场发射的分辨率最大可达1.0nm,但是EBSD需要大光阑,分辨率下降;
(2)角分辨率,与花谱标定相关的分辨率,这个分辨率目前可达到0.5°。
每天一小步也有新高度
2楼2010-05-10 17:49:20
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youthmany

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by comma at 2010-05-10 17:49:20:
200nm有点困难吧,但是你的样品状态好,也不是不能做出来。
EBSD有两个分辨率,
(1)空间分辨率是与SEM相关的,场发射EBSD一般能达到5nm,本来场发射的分辨率最大可达1.0nm,但是EBSD需要大光阑,分辨率下降; ...

谢谢!请问您说的样品状态好是指什么?
3楼2010-05-10 18:01:59
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tonefly

金虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
jic8417(金币+1):谢谢回帖交流。 2010-05-11 06:20:49
你的样品如果是再结晶态的,那么现在的场发射扫描电镜配备的EBSD完全可以达到200nm的分辨率。如果是形变态的,取决于样品本身,以及对样品表面的处理程度,达到200nm可以比较轻松的。
4楼2010-05-10 22:19:36
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yztian

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看你们的EBSD 的分辨率有多少了?
楼上说的很好。
5楼2010-05-11 08:15:49
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