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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yipinchun

超级版主

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[交流] 【求助】如何在Si片或者塑料片上打几十微米的孔道啊 已有5人参与

如何在Si片或者塑料片上打直径几十微米的孔道啊,能够打穿最好了

[ Last edited by yipinchun on 2010-4-20 at 18:55 ]
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信春哥,得永生
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lvyiyilv

管理员

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yipinchun(金币+1): 2010-04-21 11:43
Si片商刻蚀就可以,但是得用SiN保护腐蚀
塑料上不知道
引用回帖:
Originally posted by yipinchun at 2010-04-20 14:24:39:
如何在Si片或者塑料片上打直径几十微米的孔道啊,能够打穿最好了

[ Last edited by yipinchun on 2010-4-20 at 18:55 ]

6楼2010-04-20 21:43:30
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tww

管理员

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光刻,硅片上深度能达到200微米以内,估计不能打穿的。
4楼2010-04-20 16:45:17
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gamewang

管理员

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打微米级的空有什么用啊Lz 我想不明白
微信公众号:zajiadabing
5楼2010-04-20 21:27:26
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