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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】如何在Si片或者塑料片上打几十微米的孔道啊
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yipinchun

金虫 (著名写手)

[交流] 【求助】如何在Si片或者塑料片上打几十微米的孔道啊 已有5人参与

如何在Si片或者塑料片上打直径几十微米的孔道啊，能够打穿最好了

[ Last edited by yipinchun on 2010-4-20 at 18:55 ]
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信春哥，得永生
1楼 2010-04-20 14:24:39
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wang-jf86

铜虫 (小有名气)
刻蚀应该可以吧
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2楼2010-04-20 14:50:42
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zhangbin07

荣誉版主 (知名作家)

新虫 (初入文坛)

优秀版主优秀版主
激光打标
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If you can't take a few risks now so early in your career you probably never will.
3楼2010-04-20 16:15:51
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tww

铁虫 (小有名气)
光刻，硅片上深度能达到200微米以内，估计不能打穿的。
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4楼2010-04-20 16:45:17
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gamewang

木虫 (著名写手)
打微米级的空有什么用啊Lz 我想不明白
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微信公众号：zajiadabing
5楼2010-04-20 21:27:26
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
yipinchun(金币+1): 2010-04-21 11:43
Si片商刻蚀就可以，但是得用SiN保护腐蚀
塑料上不知道
引用回帖:
Originally posted by yipinchun at 2010-04-20 14:24:39:
如何在Si片或者塑料片上打直径几十微米的孔道啊，能够打穿最好了

[ Last edited by yipinchun on 2010-4-20 at 18:55 ]

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6楼2010-04-20 21:43:30
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