| 查看: 332 | 回复: 1 | ||
| 当前主题已经存档。 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
lovelyloeve新虫 (初入文坛)
|
[交流]
【请教】聚合物做模板在硅片上的图案转移已有1人参与
|
|
|
请问 有关于聚合物在硅片上形成图案后用DRIE方法进行选择性刻蚀的么？ 用什么气体？ 现在大多数都不是用聚合物的 所以相关资料比较少 希望达人指点迷津 例如 ps 在硅表面形成图案以后怎样加工 把图案转移到硅片上 谢谢 |
回复此楼
 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
相关版块跳转
我要订阅楼主 lovelyloeve 的主题更新
| 2 | 1/1 | 返回列表 |