24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 315  |  回复: 2
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 chj07 的 4 个金币

chj07

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于薄膜沉积速率的问题?

我现在是用磁控溅射沉积非晶碳薄膜
现在的沉积参数跟以前的一模一样~
为什么之前沉积一个小时的薄膜厚度都在100nm以上了
而现在沉积了1.5h却还只是20~30nm,
哪位大虾知道这是为什么呢?
这个沉积速率差太多了~
难道是我现在用的石墨靶材的问题~?
具体问题出在哪里呢?
本人非常着急~!!!
谢谢您的指点迷津了~!!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

beyondanycal

银虫 (正式写手)

chj07(金币+1): 2010-04-03 09:01
chj07(金币+2): 2010-05-11 20:05:29
能看到靶的样子么?磁控溅射之后应该留下跑道型的印痕,时间久了应该和之前不一样了吧
天行牛
2楼2010-03-30 15:15:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chnoy

银虫 (小有名气)

chj07(金币+1): 2010-04-03 09:01
chj07(金币+2): 2010-05-11 20:05:37
先拿以前的样品再测试一下,看看膜厚测量设备是不是出问题了,如果没问题的话再看看溅射设备是不是出问题了,包括气压测量,功率测量,温度测量等等,再好好回顾下是不是操作与以前不一样了,设备是不是什么地方比如靶间距等等动过了,慢慢找原因,总会找到的。
3楼2010-03-30 17:58:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chj07 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 267求调剂 +7 uiybh 2026-03-31 7/350 2026-03-31 20:32 by 一切OK
[考研] 070300化学279求调剂 +9 哈哈哈^_^ 2026-03-31 11/550 2026-03-31 20:32 by sophie2180
[考研] 285求调剂 +6 AZMK 2026-03-30 11/550 2026-03-31 17:33 by AZMK
[考研] 0856 335分 | 封装or激光加工 老师看看我!! +9 cccchenso 2026-03-29 9/450 2026-03-31 16:37 by lishahe
[考研] 353求调剂 +3 江上枫_26 2026-03-28 3/150 2026-03-31 15:53 by jp9609
[考研] 08工科,295,接受跨专业调剂 +4 lmnlzy 2026-03-31 4/200 2026-03-31 15:25 by 西京学院招办
[考研] 本科211生物医学工程085409求调剂339分 +7 里子木yy 2026-03-29 7/350 2026-03-31 14:35 by fmesaito
[考研] 0703化学 +20 妮妮ninicgb 2026-03-27 20/1000 2026-03-31 13:33 by 无际的草原
[考研] 调剂310 +13 温柔的晚安 2026-03-25 14/700 2026-03-31 13:03 by 记事本2026
[考研] 南京大学化学调剂 +11 景随风 2026-03-29 16/800 2026-03-31 10:14 by herarysara
[考研] 085600材料与化工调剂 +16 kikiki7 2026-03-30 16/800 2026-03-31 10:03 by 氯化亚硝酰
[考研] 083000学硕274求调剂 +12 Li李鱼 2026-03-26 12/600 2026-03-31 10:01 by cal0306
[考研] 求调剂,一志愿 南京航空航天大学 ,080500材料科学与工程学硕,总分289分 +9 @taotao 2026-03-29 9/450 2026-03-30 22:29 by 我是小康
[考研] 304材料求调剂 +5 钟llll 2026-03-26 5/250 2026-03-30 19:37 by 源_2020
[考研] 一志愿厦门大学材料工程专硕354找调剂!!! +5 贝呗钡钡 2026-03-30 5/250 2026-03-30 18:16 by 无际的草原
[考研] 332求调剂 +6 @MZB382400 2026-03-28 6/300 2026-03-30 16:57 by 无际的草原
[考研] 316求调剂 +7 江辞666 2026-03-26 7/350 2026-03-28 21:28 by sanrepian
[考研] 本科新能源科学与工程,一志愿华理能动285求调剂 +7 AZMK 2026-03-28 11/550 2026-03-28 21:01 by xxxsssccc
[考研] 一志愿华理,数一英一285求A区调剂 +8 AZMK 2026-03-25 12/600 2026-03-28 18:15 by AZMK
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +10 y7czhao 2026-03-26 10/500 2026-03-28 14:23 by 唐沐儿
信息提示
请填处理意见