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胖子7515

金虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】求助做薄膜的各种基板的清洗方法已有2人参与

求助做薄膜的各种基板的清洗方法,谢谢各位!!!!!!!!11
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llyj83

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
玻璃基底 一般用异丙醇、丙酮超声清洗 硅基底用浓硫酸和双氧水的混合溶液(7:3)
2楼2010-03-25 16:03:29
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beyondanycal

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
做半导体器件的有专门的电子清洗液,我们很常用;
天行牛
3楼2010-03-26 02:19:01
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wangjing3022

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
浓硫酸:重铬酸钾=7:3
4楼2010-03-26 16:08:27
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胖子7515

金虫 (初入文坛)

谢谢各位指教
5楼2010-03-27 19:20:58
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
硅片:丙酮乙醇去离子水各自超声清洗10分钟最后去离子水冲洗 自然晾干或者放置于乙醇中使用时拿出来吹干
普通载玻片:先洗衣粉洗洁精泡几天然后拿出来自来水冲洗然后氢氧化钠沸石煮1个小时然后氨水:过氧化氢:去离子水=1:1:5在70度下放置2个小时,然后自来水冲洗再使用丙酮乙醇去离子水各自超声10分钟最后去离子水冲洗并放置于乙醇中使用时吹干
没有做不到只有想不到
6楼2010-04-06 19:00:12
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胖子7515

金虫 (初入文坛)

谢谢指点
7楼2010-04-07 10:48:46
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