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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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胖子7515

兑换贵宾

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[交流] 【请教】求助做薄膜的各种基板的清洗方法 已有2人参与

求助做薄膜的各种基板的清洗方法,谢谢各位!!!!!!!!11
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beyondanycal

专家顾问

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做半导体器件的有专门的电子清洗液,我们很常用;
天行牛
3楼2010-03-26 02:19:01
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llyj83

超级版主

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玻璃基底 一般用异丙醇、丙酮超声清洗 硅基底用浓硫酸和双氧水的混合溶液(7:3)
2楼2010-03-25 16:03:29
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wangjing3022

实习版主

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浓硫酸:重铬酸钾=7:3
4楼2010-03-26 16:08:27
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糊涂的snow

超级版主

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硅片:丙酮乙醇去离子水各自超声清洗10分钟最后去离子水冲洗 自然晾干或者放置于乙醇中使用时拿出来吹干
普通载玻片:先洗衣粉洗洁精泡几天然后拿出来自来水冲洗然后氢氧化钠沸石煮1个小时然后氨水:过氧化氢:去离子水=1:1:5在70度下放置2个小时,然后自来水冲洗再使用丙酮乙醇去离子水各自超声10分钟最后去离子水冲洗并放置于乙醇中使用时吹干
没有做不到只有想不到
6楼2010-04-06 19:00:12
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