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【求助】氮化硅的有关问题 已有1人参与
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我们现在的生产工艺是在坩埚表面制备氮化硅涂层来实现脱模效果,我们现在想对氮化硅的性能进行了解,我们的最大使用温度在1560度,希望大家帮忙解以下问题: 1.氮化硅的氧化情况,包括室温下,高温下,化学物质情况下(在那种化学品内氧化速度最大及氧化情况) 2.氮化硅的分解温度,常压及真空下 3.如何使氮化硅涂层烧结,粒度在1um左右。前提是不加入其它含金属元素的物质,因为我们硅的纯度在99.9999%以上 |
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2楼2010-03-10 17:55:33
kafei8623
铜虫 (正式写手)
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3楼2010-03-11 13:55:31

4楼2010-04-07 14:35:50










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