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【求助】氮化硅的有关问题 已有1人参与
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我们现在的生产工艺是在坩埚表面制备氮化硅涂层来实现脱模效果，我们现在想对氮化硅的性能进行了解，我们的最大使用温度在1560度，希望大家帮忙解以下问题： 1.氮化硅的氧化情况，包括室温下，高温下，化学物质情况下（在那种化学品内氧化速度最大及氧化情况） 2.氮化硅的分解温度，常压及真空下 3.如何使氮化硅涂层烧结，粒度在1um左右。前提是不加入其它含金属元素的物质，因为我们硅的纯度在99.9999%以上 |
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kafei8623
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3楼2010-03-11 13:55:31
4楼2010-04-07 14:35:50