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【求助】关于加热源选择与控制
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| 小弟最近在做宽带隙半导体薄膜，由于要对衬底进行加热，加热温度从50度到250度，为了较为稳定和精确的控制，想请教使用什么样的加热介质（暂且这样叫）比较好，是灯管？电热丝？还是其他什么？现在比较常用的好像是电热丝，可否推荐小功率材料的电热丝？另外绕电热丝的炉盘有没有放气量比较小的材料，我记得有种陶瓷的叫氮化硼是不是？加热控制的前提是我拥有较为精确和稳定的控制仪，只是在此请教加热介质的选择。谢谢！ |
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2楼2010-03-03 17:09:53
yjyang07
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