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【求助】关于加热源选择与控制
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| 小弟最近在做宽带隙半导体薄膜,由于要对衬底进行加热,加热温度从50度到250度,为了较为稳定和精确的控制,想请教使用什么样的加热介质(暂且这样叫)比较好,是灯管?电热丝?还是其他什么?现在比较常用的好像是电热丝,可否推荐小功率材料的电热丝?另外绕电热丝的炉盘有没有放气量比较小的材料,我记得有种陶瓷的叫氮化硼是不是?加热控制的前提是我拥有较为精确和稳定的控制仪,只是在此请教加热介质的选择。谢谢! |
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2楼2010-03-03 17:09:53
yjyang07
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