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南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
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hangruiqiang

至尊木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】【求助】XPS深度剖析中如何确定剖析深度?

比如在Ti合金表面进行XPS深度刻蚀确定表面钛氧薄膜的厚度,有的文章上说用标准的TiO2样品做参比,在相同条件下得知标准TiO2样品的溅射速率,然后根据Ti合金表面溅射时间确定氧化膜的厚度。但是标准的TiO2样品在特定条件下的溅射速率如何获得呢?
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

hangruiqiang(金币+5):谢谢,我用的XPS溅射速率超慢,时间费老了 2010-03-03 20:11
找知道厚度的氧化钛的膜做不就可以确定速率了吗?!
我知道的都是用SiO2表示就算了。
谢谢支持材料区@小木虫论坛
2楼2010-03-03 15:56:28
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