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hangruiqiang

至尊木虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】【求助】XPS深度剖析中如何确定剖析深度？

比如在Ti合金表面进行XPS深度刻蚀确定表面钛氧薄膜的厚度，有的文章上说用标准的TiO2样品做参比，在相同条件下得知标准TiO2样品的溅射速率，然后根据Ti合金表面溅射时间确定氧化膜的厚度。但是标准的TiO2样品在特定条件下的溅射速率如何获得呢？

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1楼 2010-03-03 14:11:45

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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

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hangruiqiang(金币+5):谢谢，我用的XPS溅射速率超慢，时间费老了 2010-03-03 20:11

找知道厚度的氧化钛的膜做不就可以确定速率了吗？！
我知道的都是用SiO2表示就算了。

谢谢支持材料区@小木虫论坛

2楼2010-03-03 15:56:28

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