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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】0.5～2个微米微纳加工，你用什么加工方法？
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yugan2008

银虫 (初入文坛)

[交流] 【讨论】0.5～2个微米微纳加工，你用什么加工方法？ 已有10人参与

各为同仁，现在进行有奖调查，嘿嘿，问题如下，有时间的帮忙回个邮件到我邮箱：wendy_cn@163.com，一份问卷赠送10个金币，不够再加，拜托啦


微纳加工服务需求调查表
各位专家、同仁：
为促进精度在0.5～2微米范围内的微纳加工技术的发展和成本节约，**研究所拟建立无掩模光刻技术服务平台，为进一步了解行业需求与问题，请专家根据您的实际状况、需求及个人判断填写以下表格。
一、        专家基本情况
姓名                所属行业                职务       
工作单位       
联系方式        电话       
        Email       
二、请您对以下问题作出选择
1.        您所从事的微纳加工的领域   
A. 微电子             B. 微光学              C. 微机械  
D. 光电子             E. 生物分子电子学      F. 其他
2.        您进行微纳加工主要是
A．科研需求                     B. 开发新品
C．量产                         D．其他            
3.        您在微纳加工中所需要的加工精度
A. 小于100nm                B. 0.1～0.5um   
C. 0.5～2um                   D. 2um以上
4.        您在微纳加工中的所需要的晶圆规格
A. 4英寸             B. 6英寸          C. 8英寸
        D.> 8英寸             D. 其他            
5.        目前您在微纳加工中所选用的加工方式（可多选）
A. 电子束直写加工     B. 电子束制版+投影式光学曝光加工   
C. 激光直写    D. 聚焦离子束加工    E. 扫描探针加工                       F. 纳米压印        G. 其他            

6.        您的微纳加工工艺是否需要套刻
A. 不需要                              B. 需要   
7.        您进行微纳加工的渠道是
A．购买设备，自行生产           B．外协代工，批量生产
C．公共服务平台                 D．其他            
8.        您在加工制造过程中是否遇到以下问题（可多选）
A. 加工设备精度不够                        B. 代工费用高   
C. 加工周期长                                     D. 其他              
三、 请对您在目前的微纳米加工制造，尤其是图形转移的光刻环节中，遇到的问题、需求和希望得到的服务给予简单描述：

[ Last edited by yugan2008 on 2010-3-1 at 19:45 ]
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小木
1楼 2010-03-01 14:13:02
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
怎么没人回我呢？
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小木
2楼2010-03-01 14:20:26
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ferretl

木虫 (正式写手)
yugan2008(金币+1): 2010-03-02 13:20
能不能做100nm的材料啊？
赞一下 回复此楼
3楼2010-03-01 16:27:35
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
咋没人做这个方向吗？...
赞一下 回复此楼
小木
4楼2010-03-01 19:46:12
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zhywell22

木虫 (正式写手)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+1): 2010-03-03 17:56
这个不应该在这里吧 我感觉应该弄到机械那边去吧
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-03-03 12:59:35
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+8): 2010-03-04 13:20
yugan2008(金币+1): 2010-03-05 10:54
我的流量不够 遗憾呐  其实 我很感兴趣这份调卷
赞一下(1人) 回复此楼
没有做不到只有想不到
6楼2010-03-04 10:19:07
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LQQ1986

木虫 (小有名气)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+1): 2010-03-04 13:20
我不是专家啊，可以吗？
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2010-03-04 10:24:26
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
呵呵  可以啊
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小木
8楼2010-03-04 13:20:31
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echo200812

木虫 (正式写手)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
请问为什么要做这样的调查？调查之后能不能提供一个全国范围的MEMS或硅加工工艺技术分布地图，这样是不是可以方便需要外加工的人进行有效选择？谢谢，其实一直都很需要知道这样的资讯。可惜这种资讯却像一个一个的蘑菇，被深深地埋在地底，或者需要一个春天，一个什么样的工具，掘出来在阳光雨露下滋长成片。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2010-03-04 14:40:29
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luxinweijj

木虫 (著名写手)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
非专家～
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10楼2010-03-04 16:19:56
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