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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】0.5～2个微米微纳加工，你用什么加工方法？
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273901290

新虫 (小有名气)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+2): 2010-03-07 08:49
再小点就好了
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11楼2010-03-05 20:19:37
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heimayi

银虫 (正式写手)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
我不做晶圆
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12楼2010-03-06 09:46:24
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yydtiger

至尊木虫 (正式写手)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+5): 2010-03-07 08:49
直接回了。非专家。

1. 您所从事的微纳加工的领域   
C. 微机械  

2.  您进行微纳加工主要是
A．科研需求
3.        您在微纳加工中所需要的加工精度
A. 小于100nm      
4.   您在微纳加工中的所需要的晶圆规格
   D. 其他            
5.    目前您在微纳加工中所选用的加工方式（可多选）
  D. 聚焦离子束加工    E. 扫描探针加工

6.        您的微纳加工工艺是否需要套刻
     B. 需要   
7.        您进行微纳加工的渠道是
               D．其他            
8.        您在加工制造过程中是否遇到以下问题（可多选）
A. 加工设备精度不够
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13楼2010-03-06 10:24:00
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
谢谢大家回复，呵呵
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小木
14楼2010-03-06 21:42:17
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tianxiaochun

实习版主 (知名作家)

聪聪家族之无敌小破孩
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
这个可以去材料那里问问
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我很个性，无需签名！
15楼2010-03-06 21:47:49
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granthawk

铁杆木虫 (正式写手)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
微米级的用光刻就行了，成本最低的了
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流干最后一滴血
16楼2010-03-07 12:57:03
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zeusshang

金虫 (小有名气)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+5): 2010-03-08 18:25
二、请您对以下问题作出选择
1.        您所从事的微纳加工的领域   A
A. 微电子             B. 微光学              C. 微机械  
D. 光电子             E. 生物分子电子学      F. 其他
2.        您进行微纳加工主要是  A
A．科研需求                     B. 开发新品
C．量产                         D．其他            
3.        您在微纳加工中所需要的加工精度  ABCD
A. 小于100nm                B. 0.1～0.5um   
C. 0.5～2um                   D. 2um以上
4.        您在微纳加工中的所需要的晶圆规格 D
A. 4英寸             B. 6英寸          C. 8英寸
        D.> 8英寸             D. 其他            
5.        目前您在微纳加工中所选用的加工方式（可多选） A
A. 电子束直写加工     B. 电子束制版+投影式光学曝光加工   
C. 激光直写    D. 聚焦离子束加工    E. 扫描探针加工                       F. 纳米压印        G. 其他            

6.        您的微纳加工工艺是否需要套刻 B
A. 不需要                              B. 需要   
7.        您进行微纳加工的渠道是  A
A．购买设备，自行生产           B．外协代工，批量生产
C．公共服务平台                 D．其他            
8.        您在加工制造过程中是否遇到以下问题（可多选） 没有
A. 加工设备精度不够                        B. 代工费用高   
C. 加工周期长                                     D. 其他              
三、 请对您在目前的微纳米加工制造，尤其是图形转移的光刻环节中，遇到的问题、需求和希望得到的服务给予简单描述：
非硅基衬底难点较多
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微纳加工
17楼2010-03-08 16:32:05
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
呵呵，谢谢大家的回复，活动继续中...
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小木
18楼2010-03-10 13:17:36
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xbcs1985

铁杆木虫 (职业作家)

在劫-快乐家族
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+5): 2010-03-17 18:34
1. 您所从事的微纳加工的领域   
光电子学  生物分子电子学

2.  您进行微纳加工主要是
A．科研需求
3.        您在微纳加工中所需要的加工精度
A. 小于100nm      
4.   您在微纳加工中的所需要的晶圆规格
   D. 其他            
5.    目前您在微纳加工中所选用的加工方式（可多选）
F 纳米压印 G其他

6.        您的微纳加工工艺是否需要套刻
     B. 需要   
7.        您进行微纳加工的渠道是
               D．其他            
8.        您在加工制造过程中是否遇到以下问题（可多选）
A. 加工设备精度不够  B 代工费太高
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自由自在的人生
19楼2010-03-10 13:27:21
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bnuxin

银虫 (小有名气)
★
yugan2008(金币+1):谢谢参与
你好，请问你能提供加工设备吗？如果能的话，能否联系我？
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20楼2010-03-10 15:04:07
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