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【讨论】0.5～2个微米微纳加工，你用什么加工方法？ 已有10人参与
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各为同仁，现在进行有奖调查，嘿嘿，问题如下，有时间的帮忙回个邮件到我邮箱：wendy_cn@163.com，一份问卷赠送10个金币，不够再加，拜托啦 微纳加工服务需求调查表 各位专家、同仁： 为促进精度在0.5～2微米范围内的微纳加工技术的发展和成本节约，**研究所拟建立无掩模光刻技术服务平台，为进一步了解行业需求与问题，请专家根据您的实际状况、需求及个人判断填写以下表格。 一、 专家基本情况 姓名 所属行业 职务 工作单位 联系方式 电话 二、请您对以下问题作出选择 1. 您所从事的微纳加工的领域 A. 微电子 B. 微光学 C. 微机械 D. 光电子 E. 生物分子电子学 F. 其他 2. 您进行微纳加工主要是 A．科研需求 B. 开发新品 C．量产 D．其他 3. 您在微纳加工中所需要的加工精度 A. 小于100nm B. 0.1～0.5um C. 0.5～2um D. 2um以上 4. 您在微纳加工中的所需要的晶圆规格 A. 4英寸 B. 6英寸 C. 8英寸 D.> 8英寸 D. 其他 5. 目前您在微纳加工中所选用的加工方式（可多选） A. 电子束直写加工 B. 电子束制版+投影式光学曝光加工 C. 激光直写 D. 聚焦离子束加工 E. 扫描探针加工 F. 纳米压印 G. 其他 6. 您的微纳加工工艺是否需要套刻 A. 不需要 B. 需要 7. 您进行微纳加工的渠道是 A．购买设备，自行生产 B．外协代工，批量生产 C．公共服务平台 D．其他 8. 您在加工制造过程中是否遇到以下问题（可多选） A. 加工设备精度不够 B. 代工费用高 C. 加工周期长 D. 其他 三、 请对您在目前的微纳米加工制造，尤其是图形转移的光刻环节中，遇到的问题、需求和希望得到的服务给予简单描述： [ Last edited by yugan2008 on 2010-3-1 at 19:45 ] |
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yydtiger
至尊木虫 (正式写手)
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yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+5): 2010-03-07 08:49
yugan2008(金币+1):谢谢参与
yugan2008(金币+5): 2010-03-07 08:49
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直接回了。非专家。 1. 您所从事的微纳加工的领域 C. 微机械 2. 您进行微纳加工主要是 A．科研需求 3. 您在微纳加工中所需要的加工精度 A. 小于100nm 4. 您在微纳加工中的所需要的晶圆规格 D. 其他 5. 目前您在微纳加工中所选用的加工方式（可多选） D. 聚焦离子束加工 E. 扫描探针加工 6. 您的微纳加工工艺是否需要套刻 B. 需要 7. 您进行微纳加工的渠道是 D．其他 8. 您在加工制造过程中是否遇到以下问题（可多选） A. 加工设备精度不够 |
13楼2010-03-06 10:24:00
2楼2010-03-01 14:20:26
ferretl
木虫 (正式写手)
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3楼2010-03-01 16:27:35
4楼2010-03-01 19:46:12
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